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可用于气球、温度计、电子管、潜水服等的充气，用作---气球、---气---的填充气体，以取代其有高度可燃性的氢气。高纯---气气质联用仪等仪器的载气。可用作气相色谱仪。高纯气体中的高纯---气跟高纯气一起用作特殊焊接的保护气体。可用作空调领域---漏仪的检漏气体。高纯---气跟氧气一起用于深海作业的呼吸气体。

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高纯气体管道输送管道应当根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、微粒含量等的要求，采用相应的管材。 例如，半导体产业由于其生产技术复杂、加工，不仅要求清洁的生产环境，湖北工业氮气，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定而严格的要求，从微米技术到亚微米、深亚微米(小于0.35g.m )技术含水量要求极其严格，10-6 ) ppm级)已不能满足要求，需要达到10.因此输送管道本身的管道材料特性必须适应高纯度、高纯气体的要求。